QV ULTRA

•  实现测量精度 E1XY (0.25 + L/1000) μm。
•  X、Y 和 Z 轴采用三丰专有的高分辨率 (0.01 微米) 和高精度、低膨胀玻璃标尺。
•  主机采用高刚性移动 Y 轴工作台和固定桥架，由高稳定性花岗岩底座支撑。

高精度和高分辨率标尺

•  各轴的标准长度测量系统均配备三丰独家开发的高分辨率线性编码器系统，分辨率为 0.01 微米。
• 该标尺采用晶体玻璃作为材料，其热膨胀系数几乎为零，以最大限度地减少因温度变化引起的标尺膨胀和收缩，并提供高度可靠的测量数据。