QV ULTRA

•  实现测量精度 E1XY (0.25 + L/1000) μm。
•  X、Y 和 Z 轴采用 Mitutoyo (三丰)专有的高分辨率 (0.01 微米) 和高精度、低膨胀玻璃标尺。
•  主机采用高刚性移动 Y 轴工作台和固定桥架，由高稳定性花岗岩底座支撑。
   

高精度和高分辨率标尺

•  各轴的标准长度测量系统均配备 Mitutoyo 独家开发的高分辨率线性编码器系统，分辨率为 0.01 微米。
• 该标尺采用晶体玻璃作为材料，其热膨胀系数几乎为零，以最大限度地减少因温度变化引起的标尺膨胀和收缩，并提供高度可靠的测量数据。