半导体制造业测量解决方案
为半导体制造工艺
提供测量解决方案
半导体制造工艺的测量解决方案
随着生产向电动汽车领域转型、商用化5G推动的服务扩展，以及数据中心资本投资的回暖，半导体市场正显现出持续复苏的态势。预计该市场将进一步增长，并为满足不断提升的需求而加快推进量产准备。作为解决方案提供商与计量领域专家，Mitutoyo (三丰)已做好准备，为各类半导体制造工艺提供测量解决方案。
Mitutoyo 测量设备助力半导体制造工艺的研发与生产
探针卡
探针卡是一种在半导体晶圆与电子测试系统之间提供电气与机械接触的接口装置，用于在晶圆阶段对电路进行测试与验证，然后再进入切割与键合等后续工艺。
Quick Vision Apex Pro 影像测量机，可实现高速、高精度的非接触式CNC测量。其特别适用于探针卡等小型精密部件的细节检测，如针高及孔径等关键尺寸的测量。
推荐测量产品：
Quick Vision Apex Pro
- 有助于在量产过程中预防不合格品
- 多传感器三维测量
- 缺陷检测软件 DDPAK-QV
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引线框架
引线框架是一种薄型金属部件，用于将半导体表面微小电气端子的连线引出，并连接至电路板上的大规模电路。主要用于集成电路封装，并通过装配设备进行制造。
Mitutoyo 的测量显微镜在同类产品中具备卓越的性能与精度，有助于降低零件变异并缩短测量时间。可对引线框架的宽度、间距、高度及扭曲等特性进行便捷测量。
推荐测量产品:
测量显微镜
- 超宽视场与高倍率观察
- 优异的操作性；高 NA、长工作距离物镜，便于有效观察
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喷淋头
喷淋头在半导体制造中常用于实现材料的均匀沉积。其孔径、圆度及位置度是决定沉积均匀性的关键因素。
随着半导体工艺向更低纳米节点发展，允许误差空间不断缩小，而潜在误差风险却随之增加。因此，必须对制造过程实施更加严格的测量与监控。Mitutoyo 推出的创新系统正助力晶圆厂实现更高的一致性，减少生产瓶颈，提升生产效率，降低晶圆报废率，并最终提高投资回报率。
推荐测量产品:
Quick Vision Pro 系列（搭载 STREAM 功能）
- 全自动化——适用于量产过程中的连续高速测量
- 有助于在量产过程中预防不合格品
- 独有的 STREAM 功能，显著缩短测量节拍时间
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